为了进一步提高对长三角电子制造企业的技术服务能力，由华东实验室建设的扫描电镜实验室目前正式完成安装、调试工作，标志着华东实验室理化分析部扫描电镜实验室正式建立。作为材料检测和电子产品重要的失效分析检测手段，该扫描电镜主要用于观察材料表面的微细形貌、断口及内部组织，并对材料表面微区成分进行定性和定量分析。 主要用途如下： 1、电子元器件、电路板、陶瓷、金属、混凝土、矿物、生物、纤维和高分子等无机或有机固体材料的微观形貌分析； 2、微型加工的表征和分析集成电路图形及断面尺寸，PN结位置，结区缺陷等； 3、对固体材料的表面镀层进行分析和镀层厚度的检测； 4、结合X射线能谱仪进行材料表面微区成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、线、点分布分析。 主要技术指标 设备名称：SEM&EDS 型号：Inspect F50&Apollo xp 高电压下：≤1.0nm@30kV(SE)或≤1.5nm@15kV(SE)； 低电压下：≤3.0nm@1kV(SE)。 背散射电子像：≤2.5nm@30KV（BSE）。 电子枪：Schottky型场发射电子枪，灯丝寿命在连续发射情况下应保证10000小时以上。 加速电压： 至少满足0.2~30kV，分步连续可调（0.1kV/步）。 放大倍数： 至少满足20倍~50万倍。 SEM&EDS 离子溅射仪 联系人：汪 洋 wangyang@ceprei.com 0512-68078941 　　　　杨永兴yangyongxing2000@126.com 0512-68058408 工信部电子五所华东分所

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